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● 主體裝置(冷箱部分)尺寸小于：1500×1000×1500 mm;

● 裝置控溫要求：各柱體溫度可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)反饋至工控機(jī)；

● 制冷機(jī)：冷量≥140W@-170℃;

● 真空泵：普通機(jī)械泵，功率>0.4kW, 抽氣速率約≥3L/s;

● 質(zhì)量流量控制器：流量控制點(diǎn)為0～50L/min范圍1處；0~500ml/min范圍2處；

● 控制器測(cè)控精度：1.0% FS (滿量程);

● 溫度傳感器測(cè)溫范圍：-170℃~300℃,精度±0.1K;

● 數(shù)據(jù)采集和處理系統(tǒng)：能夠本地顯示內(nèi)部柱體溫度和柱腔壓力，實(shí)現(xiàn)閥門等自動(dòng)控制，溫度控制 一次采集時(shí)間<24h;

● 空氣中kr氣回收率≥60%。